为确保无尘室工程洁净厂房的正常生产和工作,应设置一套较完整的自控装置,实现以下功能:洁净室空气洁净度、温湿度、压差监控、风阀调节、高纯气体、纯水和循环冷却水的温度、压力、流量的检测、气体纯度、纯水水质的监测等。百级无尘车间的环境对产品有哪些影响?在百级无尘车间内出产环境是有必要的,就是必需求抵达产品需求的参数,特别是高精密芯片等电子产品出产能否进行出产的关键因素。
无尘室噪音控制:FFU的风机一般为几台甚至几十台并联使用,当设计时要考虑FFU噪音的叠加,保证《洁净室厂房设计规范GB0073-2001》中明确规定“洁净室内的噪音级(空态),非单向流洁净室不应大于60dB,单向流、混合流洁净室不应大于65dB”的要求。因此在选择风机时zui好选择、压出式、直驱后径向叶片风机,这样可以降低整体噪音。
比如说在微电子工作的芯片出产过程中,对微粒的控制要抵达分子级,该工作对出产环境要求非常苛刻,如不满意出产的环境需求就无法进行出产,或者说出产出来的产品都是报废品,无法运用。无尘室需要注意的细节问题:风管要求经济与效率并重,在无尘车间工程集中或净化空调系统中,对风管的要求是既经济又能有效地送风。前者要求体现在价格低廉,方便施工,运行成本,内表面光滑阻力小。后者是指严密性好,不漏气,不发尘,不积尘,不污染,可耐火、耐腐蚀、耐潮湿。负压密封,FFU送风系统的静压箱为负压,因此即使风口安装存在泄漏,也是从无尘室向静压箱泄漏,不会形成对无尘室的污染。
千级无尘室的湿度要求是多少?无尘室不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点:对于300000级空气净化处理,可采用亚过滤器代替过滤器;空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理,应采用初、中、过滤器三级过滤器;中效或空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段;或亚空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。
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