真空除气储存柜设备用途
本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。
机械部分主要由以下两个单元构成:真空箱室单元、真空获得系统单元。
真空除气储存柜设备主要应用于金属材料与非金属材料的高真空热处理。主要应用行业与工艺:半导体硅片除气;3D打印金属工件与合金材料的高真空热处理;X射线管高真空除气。
真空除气炉、真空存储柜的使用环境
使用环境
① 设备占地面积约:长2米,宽1.6米(约3.2平米)高1.95米;
② 电源:380 V±38 V,50 Hz±0.5 Hz,约15KW(外部电源用户自备);
③ 工件要求:无油污,无腐蚀性物质;
④ 环境温度: 5 ℃ ~ 35 ℃;
⑤ 相对湿度: 20%-85%;
⑥ 设备应安装在通风良好的厂房内。
真空除气炉、真空存储柜的质保
设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,均可独立工作。
设备自正式验收合格之日起整机免费保修12个月。免费保修的范围包括:(1)在正常情况下,在保修期间内非人为因素引起的一切设备质量问题和自然磨损;(2)备品备件清单,供方提供备品备件清单上所列的备件各一套。(3)在保修期内由需方使用不当造成的维修,只收需方的材料费。
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