原子力显微镜是一种扫描探针显微镜(SPM),其中探针跟随材料表面,以检测探针和材料之间的原子力,从而生成材料表面的图像。与光学显微镜相比,扫描探针显微镜具有极高的空间分辨率,能够在原子水平上检查表面轮廓。此外,原子力显微镜是一种扫描探针显微镜,能够测量绝缘材料。
通过将SLD发出的光发射到带有探针的悬臂梁的后侧,并使用位置传感器检查反射的激光,可以更好的地检查探针的移动,从而以纳米级的精度观察物质表面。
光学相干层析成像系统结合了低相干干涉和共焦显微测量的特点。系统选用的光源为宽带光源,常用的是超辐射发光二极管(SLD)。光源发出的光经2×2耦合器分别通过样品臂和参考臂照射到样品和参考镜,两个光路中的反射光在耦合器中汇合,而两臂光程差只有在一个相干长度内才能发生干涉信号。同时由于系统的样品臂是一个共焦显微镜系统,探测光束焦点处返回的光束具有的信号,可以排除焦点外的样品散射光的影响,这是OCT可以成像的原因之一。把干涉信号输出到探测器,信号的强度对应样品的反射强度,经过解调电路的处理,后由采集卡采集到计算机进行灰度成像。
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