全自动氦质谱检漏仪主要技术指标
1、真空模式小可检漏率：5×10 -13Pa•m3 /s（5×10 -12mbal/s）
真空模式漏率显示范围：1×10 -1—1×10 -13Pa•m3 /s
2、吸枪模式小可检漏率：5×10 -9Pa•m3 /s（5×10 -8mbal/s）
吸枪模式漏率显示范围：1×10 -1—1×10 -10Pa•m3 /s
3、启动时间：≤3min
4、响应时间：≤0.5s
5、检漏口的压力：1500Pa
6、电源要求：220v，50Hz，单相，10A
7、工作环境：5-35℃
9、相对湿度：≤80%
9、外形尺寸：500（W）×400（D）×380（H）
10、重量：W 型 42kg，D 型 22kg
全自动氦质谱检漏仪主要配置
1、德国普发检漏仪分子泵（*）
2、W 为油式机械泵，D 为干式机械泵
3、定制检漏仪电磁阀
4、阀体
5、原装晶圆放大器
6、采用质谱模块
7、液晶触摸彩屏
8、双灯丝（氧化钇金丝），自动调氦峰，自动切换
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