真空设备检漏
设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便,检测迅速等特点,是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器,
其测量工作原理如下。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计,用氦气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子。质量分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同,在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,在设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙,打在收集器上。收集放大器收集氦离子流并送入到电流放大器,通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。真空设备检漏与维修为什么要检漏泄漏和密封相对应很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。
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真空设备检漏
一个真空系统(或容器)要求做到绝dui不漏气是不现实的,也是没有必要的,所以就要根据真空系统实际应用的具体条件,对漏率指标提出合理的要求,只要漏孔的漏率已足够小,使得平衡压强低于真空系统工作所需的压强,这些漏孔就是允许的。真空系统正常工作所能允许的做大漏气量,称da允许漏率,简称允许漏率。此值不仅是设计真空系统的一项主要指标,也是检漏的依据。质量分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同,在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,在设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙,打在收集器上。
如果已知允许的总气载,而没有具体指明究竟有多大,那么,在设计合理的前提下。da允许漏率Q漏=0.1Q总,不同真空系统所允许的总漏率也不同。
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氢气检漏
油雾法
油雾法的测试尘源为油雾,“量”为含油雾空气的浊度,以过滤器前后气样的浊度差别来判断过滤器对油雾颗粒的过滤效率。
德国规定使用石蜡油,油雾粒径为0.3~0.5微米。油雾法在检测过滤器时,容易对过滤器造成损伤,且不能直接读值,浪费时间。
DOP法
这种方法曾经是国际上测试过滤器海绵常用的方法。
它的测试尘源为0.3微米单分散相邻苯二甲酸二辛酯(DOP)液滴,也称为“热DOP”,“量”为含DOP空气的浑浊程度。
将DOP液体加热成蒸汽,蒸汽在特定的条件下冷凝成微小液滴,去掉过大和过小的液滴后留下0.3微米左右的颗粒,进入风道,通过测量过滤器前后气样的浊度,并由此判断过滤器对0.3微米粉尘的过滤效率。
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