Varian干式涡轮泵IDP-3

Varian 公司利用干式涡旋真空获得技术为用户提供了高抽速，低极限压强的真空泵产品。

这种干式涡旋泵具有全无油、高耐用性、高可靠性以及易维护等优势，使众多应用领域的

理想前级真空获得产品。

· IDP-3                抽速：60升/分钟  · SH-110             抽速：110 升/分钟  · TriScroll 300      抽速：250 升/分钟  · TriScroll 600      抽速：500 升/分钟 

IDP-3 干式涡旋泵

IDP-3 干式涡旋泵是Varian 公司推出的紧凑型全无油的高性能真空泵，能够适合非常广泛的应用需要。 IDP-3 是世界上的涡旋泵，用于各种粗真空获得应用，重量仅有9.5Kg，能够轻而易举地集成到各种 实验、分析、生产系统当中。IDP-3 所具有的60/升/分钟抽气速度以及 250mTorr（约33Pa）极限压强， 使其在同级别产品当中具有无可匹敌的优势。

产品特点： ◆  全无油泵，不会污染真空系统 ◆  采用独立马达与轴承的密封设计 ◆  体积小巧：351x181x140mm ◆  与老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的极限压强 ◆  无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件 ◆  低噪声，低振动

SH-110全密封干式涡旋泵

Varian SH-110全密封干式涡旋泵具有业内的真空获得性能，结构紧凑，能够轻易地实现与现有各种科研、生产设备的真空系统相集成。此型号单级涡旋泵具有110升/分钟的抽速(60Hz电源条件下)，可获得50mTorr(约67Pa)的极限真空，即使单独作为粗真空获得设备也是非常理想的选择。SH-110涡旋泵符合CE、CSA以及Semi S2-0200等多种标准。

性能特点：

◆  工作状态下泵体发热低

◆  马达功率不到200瓦，低功耗

◆  内置出气阀门有效降低工作噪声   

◆  出气口位置可以动，以便更好地适应空间要求  

◆  高压区间抽速高，确保迅速进入真空状态 

◆   重量轻，配有把手，易于携带   

◆  内置故障保护隔离阀保证真空系统的安全  

◆   配有自动气镇阀以有效排空水蒸气

◆  维护简便，只需定期更换密封圈即可  

TriScroll 300 干式涡旋泵 

TriScroll 300 是Varian公司生产的一款用于初级真空获得的多级干式涡旋泵产品,具有出色的工作稳定性。 TriScroll 300 以高抽速为用户提供了具有较低极限真空的无油洁净真空环境。多年的实际应用证明， Varian 独有的TriScroll 300 设计具有很高的可靠性和耐用性，产品性能稳定，性价比非常突出。

技术特点：

◆  独有的TriScrollTM专业结构设计 ◆  具有轴承吹扫功能，保护轴承不被工艺气体或粉尘污染 ◆  高可靠性   ◆  具有自动气镇口

TriScroll 600 干式涡旋泵