| 优点： |
| ■测量范围广：5 X 10 -7～1 Pa |
| ■全金属冷阴极陶瓷传感器 |
| ■新型几何电极提供了极好的点火性能 |
| ■降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险，即使在氩溅射过程中也一样 |
| ■阳极环和钛阴极可清洗，更换容易 |
| ■磁场强度测量 |
| ■ LED指示灯电源和等离子点火 |
| ■对数模拟输出信号 |
| ■ Fieldbus总线接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系统的网络通信 |
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| 优点： |
| ■测量范围广：5 X 10 -7～1 Pa |
| ■全金属冷阴极陶瓷传感器 |
| ■新型几何电极提供了极好的点火性能 |
| ■降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险，即使在氩溅射过程中也一样 |
| ■阳极环和钛阴极可清洗，更换容易 |
| ■磁场强度测量 |
| ■ LED指示灯电源和等离子点火 |
| ■对数模拟输出信号 |
| ■ Fieldbus总线接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系统的网络通信 |
